特許
J-GLOBAL ID：200903074957083721
有機EL表示装置を製造するための除去装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-358451
公開番号（公開出願番号）：特開2006-164904
出願日： 2004年12月10日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】 有機EL表示装置の製造効率を改善するとともに、基板の塗布不要領域に付着物を残さずに有機EL表示装置を形成することができる、塗布物除去装置を提供する。【解決手段】 本発明は、有機EL材料または正孔輸送材料を基板から除去する除去装置である。除去処理部1は、基板6上における除去を行うべき除去領域に対してレーザ光を照射する。吸引部12は、レーザ光が照射されたと同時に当該除去領域上の空間から気体を吸引する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
有機EL材料または正孔輸送材料を基板から除去する除去装置であって、
基板上における除去を行うべき除去領域に対してレーザ光を照射する照射手段と、
前記照射手段によってレーザ光が照射されたと同時に当該除去領域上の空間から気体を吸引する吸引手段とを備える、除去装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA00
, 3K007FA01
