特許

J-GLOBAL ID：200903075057730540

表面状態検査方法

発明者： 柴原 謙次
出願人/特許権者： 柴原 謙次
代理人 (1件)： 戸島 省四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296107
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111493
出願日： 1998年10月03日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 移動中又は高温の物体でも検査でき、しかも検査装置の位置・姿勢・距離が多少変化しても正確に且つ非接触方式で検査できる表面状態検査方法を提供する。【解決手段】 レーザー光を物体Bの被検査面に斜めに投射し、同レーザー光の被検査面からの反射光を面的又は線的にCCDカメラ7で受光し、その光の強さとその受光位置との間の光の強さの分布図を作成し、同分布図を正規分布に近似させたときの標準偏差を求め、同標準偏差と物体の表面粗さとの関係を実験又は計算で予め決めた標準偏差と表面粗さとの対応関係から上記計測した標準偏差に対応した物体の表面粗さを求める。

請求項（抜粋）：

レーザー光を物体の被検査面に斜めに投射し、同レーザー光の被検査面からの反射光を面的又は線的に光感知センサーで受光し、その光の強さとその受光位置との間の光の強さの分布図を作成し、同分布図を正規分布に近似させたときの標準偏差を求め、同標準偏差と物体の表面粗さとの関係を実験又は計算で予め決めた標準偏差と表面粗さとの対応関係から上記計測した標準偏差に対応した物体の表面粗さを求める表面状態検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/89

FI (2件)：

G01N 21/88 Z ,  G01N 21/89 610 Z

Fターム (15件)：

2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA03 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB09 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光の二次元測定方法および表面粗さ測定方法と測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-193143   出願人：日本精機株式会社, 栗田政則