クリーンフィラーを配合した架橋性フッ素系エラストマー組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝日奈宗太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-294785
公開番号（公開出願番号）：特開2007-084832
出願日： 2006年10月30日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】水分発生量および有機系アウトガス量がいずれも低減化されている極めてクリーンなフィラーを使用した半導体製造装置用の成形品材料として好適な架橋性フッ素系エラストマー組成物および成形品を提供する。【解決手段】200°Cで2時間加熱したときの単位表面積当たりの重量減少率が2.5×10-5重量%/m2以下であり、かつ200°Cで15分間加熱したときの有機系ガスの総発生量が2.5ppm以下であるフィラーと架橋性フッ素系エラストマーとからなる架橋性フッ素系エラストマー組成物およびその架橋成形品。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

200°Cで2時間加熱したときの単位表面積当たりの重量減少率が2.5×10-5重量%/m2以下であり、かつ200°Cで15分間加熱したときの有機系ガスの総発生量が2.5ppm以下であるフィラーと架橋性フッ素系エラストマーとからなる架橋性フッ素系エラストマー組成物。

IPC (4件)：

C08L 27/12 , C09K 3/10 , H01L 23/29 , H01L 23/31

FI (4件)：

C08L27/12 , C09K3/10 M , C09K3/10 Q , H01L23/30 R

Fターム (71件)：

4H017AA03 , 4H017AA24 , 4H017AA29 , 4H017AB12 , 4H017AB15 , 4H017AC03 , 4H017AC15 , 4H017AC17 , 4H017AD01 , 4H017AD06 , 4H017AE05 , 4J002AC031 , 4J002AC061 , 4J002AC071 , 4J002AC081 , 4J002AC091 , 4J002BB031 , 4J002BB061 , 4J002BB121 , 4J002BB181 , 4J002BC031 , 4J002BD031 , 4J002BD101 , 4J002BD121 , 4J002BD141 , 4J002BD151 , 4J002BF021 , 4J002BG051 , 4J002BG101 , 4J002BN151 , 4J002CC101 , 4J002CC181 , 4J002CD001 , 4J002CF001 , 4J002CG001 , 4J002CK011 , 4J002CK021 , 4J002CL001 , 4J002CP031 , 4J002DB016 , 4J002DD036 , 4J002DD046 , 4J002DD066 , 4J002DD076 , 4J002DE076 , 4J002DE096 , 4J002DE106 , 4J002DE116 , 4J002DE136 , 4J002DE146 , 4J002DE216 , 4J002DF016 , 4J002DG026 , 4J002DG046 , 4J002DJ016 , 4J002DK006 , 4J002GJ02 , 4J037AA08 , 4J037AA18 , 4J037CB23 , 4J037CC28 , 4J037DD25 , 4J037EE02 , 4J037EE14 , 4J037EE26 , 4J037FF21 , 4M109AA01 , 4M109EA01 , 4M109EB12 , 4M109EB13 , 4M109EC20

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭59-074165
表面改質酸化チタン粉末
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-080067 出願人：日本アエロジル株式会社
特開昭54-101795

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