特許
J-GLOBAL ID：200903075089843613
露光装置及び除振装置、システム同定装置及びその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-165369
公開番号（公開出願番号）：特開2000-082662
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 運動機構の動特性の経時的な変化を短時間、かつ高精度に捕捉して同定する。【解決手段】 運動機構において、その運動を制御するためのアクチュエータに疑似不規則信号を印加し、この疑似不規則信号の時系列データとともに運動機構の運動状態を計測するセンサの時系列データを収集してデータ記憶手段に記憶させ、該データ記憶手段に記憶させた時系列データに対してフィルタリングを施し、このフィルタリングしたデータを使ってシステム同定を施し、システム同定によって算出した数学モデルを使って運動機構の特性値を導出し、特性値の変化を経時的に捕捉して運動機構の性能維持の適否を自己診断する。
請求項（抜粋）：
疑似不規則信号を発生し、運動機構においてその運動を制御するためのアクチュエータに印加する疑似不規則信号発生手段と、該疑似不規則信号の時系列データとともに前記運動機構の運動状態を計測するセンサの時系列データを収集して記憶するデータ記憶手段と、該データ記憶手段に記憶された時系列データに対してフィルタリングを施すプリフィルタリング手段と、該プリフィルタリング手段で処理したデータに対して数学モデルを導出するシステム同定手段と、該システム同定手段が導出する数学モデルを使って前記運動機構の特性値を導出する特性抽出・診断手段と、を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, F16F 15/02
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 503 F
, F16F 15/02 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 503 G
