特許
J-GLOBAL ID:200903075095506386
真空蒸発分離回収方法及び装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
斉藤 晴男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-195049
公開番号(公開出願番号):特開平11-019625
出願日: 1997年07月04日
公開日(公表日): 1999年01月26日
要約:
【要約】【課題】 従来の方法よりも処理に要する時間を短縮することができ、処理能力の向上とランニングコストの低廉化を図ることができ、しかも、蒸発物を高純度にて回収することができる真空蒸発分離回収方法及び装置を提供することを課題とする。【解決手段】 1又は複数配備される真空蒸発室15、35、51内の温度をそれぞれ一定に保持しておいて、それぞれ室内の真空度を変化させていくことにより種々の蒸発物を順次分離回収する。前記真空度の変化は、好ましくは真空ポンプの動作、並びに、不活性ガス及び/又は還元ガスの供給により行ない、通例800〜10-5Torrの範囲で変化させる。
請求項(抜粋):
1又は複数配備される真空蒸発室内の温度をそれぞれ一定に保持しておいて、それぞれ室内の真空度を変化させていくことにより種々の蒸発物を順次分離回収することを特徴とする真空蒸発分離回収方法。
IPC (4件):
B09B 3/00
, B09B 3/00 ZAB
, C22B 1/00
, C22B 7/00
FI (4件):
B09B 3/00 303 A
, C22B 1/00
, C22B 7/00 F
, B09B 3/00 ZAB
引用特許:
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