特許
J-GLOBAL ID：200903075145240595
レーザ光源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217941
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064486
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 スレーブレーザ光源が発振可能な全範囲に亘ってスレーブレーザ光の発振周波数を可変設定することができるレーザ光源装置を提供する。【解決手段】 マスタレーザ光源1と、マスタレーザ光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器2と、スレーブレーザ光源3と、スレーブレーザ光と側帯波とのヘデロダイン成分を検出する光検出器6と、検出されたヘデロダイン検波信号に基づいてスレーブレーザ光源3の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック回路7と、スレーブレーザ光の周波数が側帯波の周波数に近傍になったときにマスタレーザ光源1の発振周波数をシフトさせ、また、レーブレーザ光の周波数が隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに光周波数コム発生器2により発生される側帯波の間隔を切り換えるコンピュータ8とを備える。
請求項（抜粋）：
発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段とを備えることを特徴とするレーザ光源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/23 Z
, H01S 3/10 A
