特許

J-GLOBAL ID：200903075192660047

顕微鏡光学系

発明者： 梶谷 和男 ,  倉田 清宣
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-097776
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292707
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 照明系の周辺光量不足による観察視野の明るさの不均一をなくすようにした顕微鏡光学系を提供する。【解決手段】 この顕微鏡光学系においては、対物レンズ3の結像位置の近傍に、中心から半径方向に透過率が高くなる光量減衰フィルタ5が光軸に直交するように配置されている。

請求項（抜粋）：

顕微鏡光学系において、対物レンズの結像位置近傍または前記対物レンズの結像位置と共役な位置の近傍に、中心から半径方向に透過率が変化する光量減衰フィルタを光軸に直交するように配置したことを特徴とする顕微鏡光学系。

IPC (2件)：

G02B 21/06 ,  G02B 21/02

FI (2件)：

G02B 21/06 ,  G02B 21/02 Z

Fターム (4件)：

2H052AC28 ,  2H052AD34 ,  2H087KA09 ,  2H087RA43

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-195922   出願人：株式会社ニコン
• 異物検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-023998   出願人：株式会社ニコン