特許

J-GLOBAL ID：200903075215657197

液晶パネルの製造方法及び配向膜の表面処理方法

発明者： 酒井 明 ,  川瀬 信雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-050896
公開番号（公開出願番号）：特開2007-264624
出願日： 2007年03月01日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】配向膜に含まれた水分を除去することにより、表示ムラが改善された液晶パネルを提供する。【解決手段】表面に無機配向膜を成膜した基板13を処理チャンバー6に搬送し、ガス導入装置8及びガス導入口3より処理ガスとして水素及び重水素を用いたプラズマ処理を施すか、或いは、配向膜を重水素水に浸漬するなどの表面処理を行うことにより、配向膜に含まれる水分を除去するとともに水の再吸着を抑え、表示ムラの発現を抑制する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液晶パネルの製造方法において、 少なくとも一方の表面に配向膜が形成された一対の基板を用意する工程、 前記一対の基板間に液晶を配する工程、 を含み、 前記配向膜を、重水素、重水素化水素、トリチウムから選択される少なくとも一種を含む雰囲気に晒す表面処理工程を含み、 前記表面処理工程の後、前記液晶を前記配向膜に接触させることを特徴とする液晶パネルの製造方法。

IPC (1件)：

G02F 1/133

FI (1件)：

G02F1/1337 515

Fターム (6件)：

2H090HB03Y ,  2H090HC16 ,  2H090HC18 ,  2H090HD15 ,  2H090LA04 ,  2H090MB06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-058414   出願人：ソニー株式会社