気体レーザ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-112900
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306999
出願日： 1995年05月11日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】本発明は気体レーザ装置に関するものであり、簡便な構成で出力光強度の検出することを目的とする。【構成】気体レーザ媒質を包含したレーザ容器1と、レーザ容器1の両側に設けられた出力結合手段3と全反射手段4とから構成される光共振器と、光共振器の間であってレーザ容器1の壁面に光共振器の光軸に垂直な方向から寄生発振を防止すべく微小角度傾斜して延在するように配置された一対の光透過窓4、5とを含むレーザ発振器と、レーザ出力光7は受光しないが、反射光8を受光可能なように反射光8の光路上に設置された光検出手段とを有する気体レーザ装置である。

請求項（抜粋）：

気体レーザ媒質を包含したレーザ容器と、前記レーザ容器の両側に設けられた出力結合手段と全反射手段とから構成される光共振器と、前記光共振器の間であって前記レーザ容器の壁面に前記光共振器の光軸に垂直な方向から寄生発振を防止すべく微小角度傾斜して延在するように配置された一対の光透過窓とを含むレーザ発振器と、前記出力結合手段から出射するレーザ出力光は受光しないが、前記一対の光透過窓の一方で反射された反射光を受光可能なように前記反射光の光路上に設置された光検出手段とを有する気体レーザ装置。

引用特許：

審査官引用 (9件)

レーザ装置、及びそれを用いた投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-163152 出願人：キヤノン株式会社
特開平1-117380
ガスレ-ザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-153023 出願人：株式会社東芝

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