フラーレン系インターカレーション化合物薄膜の形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：舘野千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-105993
公開番号（公開出願番号）：特開平6-298598
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【目的】フラーレンのインターカレーション化合物薄膜を高品質かつ均一に形成する方法を提供する。【構成】数分子層のフラーレン薄膜と数分子層の別の元素薄膜を交互に蒸着してフラーレン薄膜と異元素薄膜の超格子構造を作製し、その後、加熱・拡散させてインターカレーション化合物薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

数分子層のフラーレン薄膜と、数分子層の別の元素薄膜とを交互に蒸着してフラーレン薄膜と異元素薄膜の超格子構造を形成し、次いで加熱・拡散させることを特徴とするフラーレン系インターカレーション化合物薄膜の形成方法。

IPC (3件)：

C30B 29/02 , C01B 31/02 ZAA , C01B 31/02 101

引用特許：

審査官引用 (3件)

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