電子ビーム加速器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-530255
公開番号（公開出願番号）：特表2001-507800
出願日： 1997年12月30日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】電子加速器10には電子ビーム放射窓24を有する真空チャンバ46が組み込まれている。電子発生器31が前記真空チャンバ内にあり電子を発生する。前記電子発生器を囲むハウジング30がある。このハウジングの電子発生器と前記電子ビーム放射窓の間の部分に第1の開口列を有しており、ハウジングと放射窓間に電圧が印加されると、電子を電子発生器から電子ビーム放射窓の外部方向へ電子ビームにして加速する。また前記ハウジングには電子発生器を挟んだ両対向側面に第2および第3の開口列35が配列され、電子発生器と放射窓間の電界線を均等にして電子ビームの幅方向の電子分布を均一にする。

請求項（抜粋）：

電子ビーム放射窓を有する真空チャンバと、前記真空チャンバ内に配置されて電子を発生する電子発生器と、前記電子発生器を囲むハウジングであって、前記電子発生器と前記電子ビーム放射窓間のハウジング部分に設けた第1の開口列を有し、前記ハウジングと前記電子ビーム放射窓間に電圧が供給されたとき、電子を前記電子発生器から電子ビームにして前記電子ビーム放射窓の外へ加速し、さらに、電子ビームの幅方向の電子分布を均一にする受動的電界線整形手段を有するハウジングと、を備えた電子加速器

IPC (2件)：

G21K 5/04 , H01J 33/00

FI (2件)：

G21K 5/04 F , H01J 33/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-198045
特開昭61-183859
特表平4-504483

全件表示

前のページに戻る