特許
J-GLOBAL ID:200903075253652786

ライン照明

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-518338
公開番号(公開出願番号):特表2005-520215
出願日: 2003年01月15日
公開日(公表日): 2005年07月07日
要約:
本発明は、ライン状面3を照明するために、ラインに沿って配置された光源1と、少なくとも一つのライン形の光学素子2とを有する照明装置に関する。光学素子2によって生じる口径食を補償するため、絞り6が設けられ、この絞りが、ライン方向に変更可能な開口数を生じさせる。この変更可能な開口数は、対物光学系を用いてラインを結像させる時に現れる口径食、すなわち縁部における明るさの低下が、E(w)=E・cos4(w)に応じて、もしくは他の依存性に応じて補償されるように設けられている。
請求項(抜粋):
ライン状面(3)を照明するため、ライン形の光源又はライン状に配置された光源(1,9)と、少なくとも一つのライン形の光学素子(2,10)とを有する装置において、 光源(1,9)の光線を導く素子(2,10)の領域に、少なくとも一つの絞り(6)を備え、前記絞りは、ラインの方向に変更可能な開口数を形成するように設けられていることを特徴とする装置。
IPC (3件):
G03B27/54 ,  H04N1/028 ,  H04N1/04
FI (3件):
G03B27/54 A ,  H04N1/028 Z ,  H04N1/04 101
Fターム (23件):
2H109AA02 ,  2H109AA13 ,  2H109AA26 ,  2H109AA52 ,  2H109AA75 ,  2H109AA90 ,  2H109AA96 ,  2H109AA98 ,  2H109AB33 ,  5C051AA01 ,  5C051DA03 ,  5C051DB22 ,  5C051DB29 ,  5C051DC04 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07 ,  5C072AA01 ,  5C072BA08 ,  5C072CA05 ,  5C072CA09 ,  5C072CA15 ,  5C072DA02 ,  5C072DA18
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 露光装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-093421   出願人:富士写真フイルム株式会社
  • 画像読取装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-154812   出願人:株式会社リコー
  • 光記録装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-306089   出願人:ミノルタ株式会社
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