特許
J-GLOBAL ID：200903075337115956

光ファイバセンサ

発明者：
蜂屋 聡史

蜂屋 聡史 について

, 
藤原 一弘

藤原 一弘 について


出願人/特許権者：
株式会社先進材料利用ガスジェネレータ研究所

株式会社先進材料利用ガスジェネレータ研究所 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-068848
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257415
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 移動または振動している被測定物に対する測定であっても高精度で距離、変位、速度測定をすることができる光ファイバセンサを得ること。【解決手段】 本発明は、三角波状に周波数変調されたレーザ光Loを発生する半導体レーザ2と、レーザ光Loを第1のレーザ光L1および第2のレーザ光L2に分岐する光ファイバカプラ5と、第1のレーザ光L1を移動速度vで移動している被測定物10へ照射する光ファイバ81と、上記第1のレーザ光L1に対して半周期分の遅延を与える遅延用光ファイバ62と、光ファイバカプラ72を介して伝搬する第2のレーザ光L2を上記被測定物10へ照射する光ファイバ82と、第1の干渉光Li1の第1の平均ビート周波数fb1*および第2の干渉光Li2の第2の平均ビート周波数fb2*を各々検出する周波数検出器14と、周波数検出器14の検出結果に基づいて距離、変位、速度等を求める演算装置15とを有している。
請求項（抜粋）：
三角波状に周波数変調された変調レーザ光を発生するレーザ光発生手段と、前記変調レーザ光を第1のレーザ光および第2のレーザ光に分岐する分岐手段と、その内部を伝搬する前記第1のレーザ光を、移動または振動可能とされた被測定物へ導く第1の光ファイバと、前記第1のレーザ光の一部が前記第1の光ファイバの端面に反射された第1の参照光と、前記第1のレーザ光の残り一部が前記被測定物に反射され前記端面に再入射した第1の反射光との光路差、および前記第1の反射光が受けたドップラ効果によるドップラ周波数偏移により生ずる第1の干渉光の第1のビート周波数を検出する第1のビート周波数検出手段と、前記第2のレーザ光を、前記第1のレーザ光に対して前記三角波の半周期分遅延させ、遅延レーザ光として出射する遅延手段と、その端面が前記第1の光ファイバの前記端面と同一線上に位置するように配設され、その内部を伝搬する前記遅延レーザ光を、前記被測定物へ導く第2の光ファイバと、前記遅延レーザ光の一部が前記第2の光ファイバの端面に反射された第2の参照光と、前記遅延レーザ光の残り一部が前記被測定物に反射され前記端面に再入射した第2の反射光との光路差、および前記第2の反射光が受けたドップラ効果によるドップラ周波数偏移により生ずる第2の干渉光の第2のビート周波数を検出する第2のビート周波数検出手段と、前記第2のビート周波数と前記第1のビート周波数とを加算し、前記ドップラ周波数偏移分が相殺され、前記光路差分のみの加算結果および前記変調レーザ光の既知の周波数変調幅に基づいて、前記第1の光ファイバおよび前記第2の光ファイバの各端面と前記被測定物との距離を求める演算手段と、を具備することを特徴とする光ファイバセンサ。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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