特許
J-GLOBAL ID：200903075399160338
窒化アルミニウムを強化する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-338093
公開番号（公開出願番号）：特開平7-206555
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】 溶液および気体と化学的に反応せずかつ圧電表面音響波装置に適した窒化アルミニウム膜の生成を可能とする。【構成】 窒化アルミニウムを強化する方法であって、1つの実施例では、還元雰囲気(11)においてスパッタリングされた窒化アルミニウムをアニールし、かつ次に該スパッタリングされた窒化アルミニウムを不活性雰囲気(12)中でアニールする。卓越した窒化アルミニウム薄膜(13)が得られる。該薄膜は20分までの沸騰水の浸積に耐えかつ2.0より大きな屈折率、Nf、を維持し、かつ好ましい結晶配向比、I(002)/I(102)、が1000より大きい。
請求項（抜粋）：
スパッタリングされた窒化アルミニウムの化学的安定性、結晶および圧電特性を強化する方法であって、前記スパッタリングされた窒化アルミニウムを水素および窒素を含む成形ガスの還元雰囲気からなる第1の雰囲気中でアニールする段階(11)、そして引続き、窒素を含む不活性雰囲気の第2の雰囲気中で前記スパッタリングされた窒化アルミニウムをアニールする段階(12)、を具備することを特徴とするスパッタリングされた窒化アルミニウムの化学的安定性、結晶および圧電特性を強化する方法。
IPC (6件)：
C04B 41/87
, B01J 19/00
, C01B 21/072
, C04B 35/581
, C23C 14/06
, C23C 14/58
