特許

J-GLOBAL ID：200903075409242656

コンタクトプローブおよびそれを備えたプローブ装置

発明者： 石井 利昇 ,  松田 厚 ,  植木 光芳 ,  立川 宣芳 ,  吉田 秀昭
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-259829
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104275
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 確実なスクラブが行えるのは勿論、パッド表面の皮膜の下まで傷つけることがなく、さらにスクラブ距離が必要以上に大きくなるのを防止することができるコンタクトプローブを提供する。【解決手段】 複数のパターン配線3がフィルム2上に形成されこれらのパターン配線3の各先端が前記フィルム2から突出状態に配されてコンタクトピン3aとされるコンタクトプローブ1であって、前記コンタクトピン3aは、その途中位置Xにて折曲されている。

請求項（抜粋）：

複数のパターン配線(3)がフィルム(2,201,201a)上に形成されこれらのパターン配線(3)の各先端が前記フィルム(2,201,201a)から突出状態に配されてコンタクトピン(3a)とされるコンタクトプローブ(1,200)であって、前記コンタクトピン(3a)は、その途中位置(X)にて折曲されていることを特徴とするコンタクトプローブ。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 F ,  H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-127843   出願人：フレッシュクエストコーポレーション, イノテック株式会社
• 特開平3-084470