特許

J-GLOBAL ID：200903075410512691

X線シャッタ装置

発明者： 長谷川 雅之
出願人/特許権者： 神津精機株式会社
代理人 (1件)： 荒井 俊之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-029980
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221892
出願日： 2000年02月08日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】 ソレノイドで駆動する二枚のシャッタプレートの作動タイミングを調整することにより、X線光路の開閉を極めて短時間の瞬間的単位で制御できるようにすることにある。【解決手段】 X線光源1と照射試料2との間の光軸B線上に、内部にX線の散乱防止用ガスを充填して密閉された筒形状のチャンバ3を配置し、このチャンバ3の一方端にX線減衰率の低い透過膜10で密閉されたX線入射孔8を開設すると共に、他方端に前記透過膜10で密閉されたX線出射孔9を開設し、更にチャンバ3の内部に、X線入射孔8からX線出射孔9にかけて通過する光軸Bを夫々開閉する第一のシャッタプレート13と第二のシャッタプレート14とを光軸Bに沿って前後に設け、ソレノイドで駆動する前記第一のシャッタプレート13と第二のシャッタプレート14の何れか一方を閉姿勢、他方を開姿勢とした状態から、一方が開姿勢となった所定時間後に他方を閉姿勢とする状態に制御することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

X線光源(1)と照射試料(2)との間の光軸(B)線上に、内部にX線の散乱防止用ガスを充填して密閉された筒形状のチャンバ(3)を配置し、該チャンバ(3)の一方端にX線減衰率の低い透過膜(10)で密閉されたX線入射孔(8)を開設すると共に、他方端に前記透過膜(10)で密閉されたX線出射孔(9)を開設し、更に前記チャンバ(3)の内部に、前記X線入射孔(8)からX線出射孔(9)にかけて通過する前記光軸(B)を夫々遮断する第一のシャッタプレート(13)と第二のシャッタプレート(14)とを光軸(B)に沿って前後に設け、ソレノイドで駆動する前記第一のシャッタプレート(13)と第二のシャッタプレート(14)の何れか一方を閉姿勢、他方を開姿勢とした状態から、前記一方が開姿勢となった所定時間後に他方を閉姿勢とする状態に制御することを特徴とするX線シャッタ装置。

IPC (5件)：

G21K 1/04 ,  G21K 1/00 ,  H05G 1/56 ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/223

FI (5件)：

G21K 1/04 S ,  G21K 1/00 X ,  H05G 1/56 H ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/223

Fターム (14件)：

2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001GA01 ,  2G001KA01 ,  2G001SA01 ,  2G001SA10 ,  2G001SA30 ,  4C092AA01 ,  4C092AB07 ,  4C092BC18 ,  4C092CD09 ,  4C092CE14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 露光装置および半導体製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-114247   出願人：キヤノン株式会社
• X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-282135   出願人：理学電機株式会社