X線検査方法およびX線検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-210832
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046759
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 X線検査において検出すべき元素の情報に関してより向上した結果を得ることができるX線検査方法およびX線検査装置を提供する。【解決手段】元素の吸収係数がその元素の吸収端前後で大きく異なることを利用し、測定試料(3)中の検出対象となる元素の吸収端の波長より短波長の単色X線λ1と長波長の単色X線λ2を測定試料に照射して得られる2種類のX線透過データを差分することにより、測定試料中の検出対象となる元素のみのX線透過像を得る。

請求項（抜粋）：

対象物体としての測定試料中に存在する検出すべき物質を構成する元素の吸収端の波長より長波長の単色X線を測定試料に照射して得られるX線透過データ、および吸収端の波長より短波長の単色X線を測定試料に照射して得られるX線透過データである、吸収端を挟む2種類の波長のX線についてのX線透過データを差分することにより、測定試料中の検出すべき物質を構成する元素のみの情報を得るX線検査方法。

IPC (3件)：

G01N 23/04 , G01N 23/06 , G01V 5/00

FI (3件)：

G01N 23/04 , G01N 23/06 , G01V 5/00 A

Fターム (19件)：

2G001AA01 , 2G001AA09 , 2G001BA11 , 2G001BA13 , 2G001CA01 , 2G001DA02 , 2G001EA01 , 2G001EA02 , 2G001FA29 , 2G001GA01 , 2G001HA13 , 2G001HA14 , 2G001KA01 , 2G001KA03 , 2G001LA01 , 2G001LA11 , 2G001NA09 , 2G001NA15 , 2G001PA11

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平2-224744
特公平6-046240
グラファイト層の形成方法、該方法によって形成されたグラファイト層を有するX線光学素子及びX線光学素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058732 出願人：新技術事業団, 松井丈雄, 菊地理恵, 大木芳正

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審査官引用 (10件)

特開平2-224744
撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-255831 出願人：住友電気工業株式会社
特公平6-046240

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