特許
J-GLOBAL ID：200903075453139706

弾性表面波素子及びその製造方法

発明者：
袴田 新一

袴田 新一 について

, 
渡辺 行夫

渡辺 行夫 について


出願人/特許権者：
沖電気工業株式会社

沖電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-342927
公開番号（公開出願番号）：特開2002-152002
出願日： 2000年11月10日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：
【要約】【課題】 機械的強度が高められた電気的接続パッドを有する弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 弾性表面波を伝搬させるための基板11と、該基板上に設けられ、電気信号と弾性表面波との間でエネルギー変換を行うための電極12と、該電極および前記基板を覆い、前記電極を部分的に露出させるための開口14が設けられた保護膜13と、前記開口を経て前記電極に電気的に接続されるパッド15とを備える弾性表面波素子10。前記電極は、前記開口による開放領域の全域で前記基板を覆って配置され、前記パッドは、該パッドの下面で、前記電極及び前記保護膜の前記開口の縁部に結合されている。
請求項（抜粋）：
弾性表面波を伝搬させるための基板と、該基板上に設けられ、電気信号と弾性表面波との間でエネルギー変換を行うための電極と、該電極および前記基板を覆う保護膜であって前記電極を部分的に露出させるための開口が設けられた保護膜と、前記開口を経て前記電極に電気的に接続され、リード線が接続されるパッドとを含む弾性表面波素子であって、前記電極は、前記開口による開放領域の全域で前記基板を覆って配置され、前記パッドは、該パッドの下面で、前記電極及び前記保護膜の前記開口の縁部に結合されていることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件)：
H03H 9/145 ,  H01L 21/3065 ,  H03H 3/08
FI (3件)：
H03H 9/145 D ,  H03H 3/08 ,  H01L 21/302 H
Fターム (13件)：
5F004AA06 ,  5F004AA14 ,  5F004BD01 ,  5F004DA26 ,  5F004DB26 ,  5F004FA08 ,  5J097AA24 ,  5J097AA31 ,  5J097DD25 ,  5J097DD29 ,  5J097HA02 ,  5J097HA04 ,  5J097KK09
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 弾性表面波フィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-300166   出願人：沖電気工業株式会社
  • 弾性表面波装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-061997   出願人：株式会社日立メディアエレクトロニクス

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