特許

J-GLOBAL ID：200903075478309576

圧電アクチュエータ素子の製造方法および圧電アクチュエータ素子

発明者： 加藤 友好
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 宇高 克己 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157631
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349358
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 焼結体に精密加工を施す必要がなく、製造コストの低減が図れる圧電アクチュエータ素子の製造方法を提供する。【解決手段】 基部と、一端側が基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、前記変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子の製造方法である。空隙となる部位にチタン酸鉛系の材料4を設けた状態で、圧電アクチュエータ素子の原料シート5を積層し、更に原料シートの積層方向に圧力を加えて原料シート同士を圧着させ、積層体6を形成し、積層体6を焼成して焼結体7を形成する。得られた焼結体7から、粉末化した前記チタン酸鉛系の材料を除去し、変形部同士の間に空隙を形成する。

請求項（抜粋）：

基部と、一端側が前記基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、前記変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、前記変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子を製造するための方法であって、前記空隙となる部位にチタン酸鉛系の材料を設けた状態で、前記圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更に前記原料シートの積層方向に圧力を加えて前記原料シート同士を圧着させ、前記原料シートの積層体を形成する積層圧着工程と、この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化した前記チタン酸鉛系の材料を除去し、前記変形部同士の間に前記空隙を形成する空隙形成工程とを具備することを特徴とする圧電アクチュエータ素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 41/083 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

H01L 41/08 S ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z

Fターム (9件)：

2C057AF37 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG48 ,  2C057AP02 ,  2C057AP16 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 積層圧電素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-102986   出願人：住友金属工業株式会社
• 特開平4-352481
  
• 特開平2-090579