直動型軸受および直動型軸受の潤滑薄膜形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-045399
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240223
出願日： 1995年03月06日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】直動型軸受において、発塵の抑制および潤滑性の向上を図り、長寿命を達成できる。【構成】レール1の外周面および移動体2の内周面の円周六箇所に互いに対向して設けられる一対の溝6,91からなるボール転送路12と、移動体2側に設けられるボール循環路13とに多数のボール4群が収納され、かつ、レール1と移動体2との相対的な軸方向スライド動作に伴い、ボール転送路12とボール循環路13との間でボール4群が転動循環される構成の直動型玉軸受Aにおいて、少なくともレール1、移動体2の軌道面に官能基を有する含フッ素重合体からなる潤滑油の薄膜が付着されている。つまり、潤滑油の薄膜として、従来の固体潤滑剤のコーティング膜のような剥離や欠落の他、摩耗のない流動性を有する。

請求項（抜粋）：

軸状のレールと、それに外嵌される筒状の移動体と、レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備える直動型軸受であって、前記レールおよび移動体が金属で形成され、少なくともレールおよび移動体の軌道面に、官能基を有する含フッ素重合体からなる潤滑薄膜が形成されている、ことを特徴とする直動型軸受。

引用特許：

審査官引用 (13件)

半導体製造設備用直線運動案内装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-192237 出願人：エヌテイエヌ株式会社
半導体製造設備用リニアベアリングおよびガイドローラ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-133566 出願人：エヌティエヌ株式会社
特開昭63-076908

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