照射装置の粒子線取出窓構造

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281453
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099997
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】電子線照射装置等において、大気中の電子線減衰を最小化して、照射効果を向上する。【解決手段】電子線発生部と、真空容器31と、真空容器31の電子線出口を流体的に閉じる電子線取出窓55とを有する電子線照射装置30の取出窓取り付け構造は、真空容器31の受けフランジ31aに気密に取り付けられた補助フランジ35、取出窓55を固定する一対の取り付けフランジ47a,47b、及び補助フランジ35の外周側面に設けられた冷却ノズル57を有し、取り付けフランジ47a,47b及び冷却ノズル57は取出窓55の最外面より没しており、取付フランジ47aの隅部は面取りされて滑らかな部分円筒状面47cに形成され、取り付けフランジ47aの外面に沿って取出窓55に向かう冷却空気59のコアンダ効果流が形成される。

請求項（抜粋）：

粒子線等発生部と、発生粒子線等が移動する真空空間を画成する真空容器と、該真空容器の粒子線等出口を流体的に閉じる粒子線等取出窓とを有する照射装置において、該取出窓の取り付け構造は、前記粒子線等出口を取り囲む真空容器の受けフランジに気密に取り付けられ、中心部の平坦面と外周部の凹み傾斜面とから構成される取出窓取り付け面を外側に備える補助フランジ、前記凹み傾斜面に対向して配設され前記取り付け面に接して配置される取出窓を固定する一対の取り付けフランジ、及び前記補助フランジの外周側面に設けられた冷却空気吹き出しノズルを有し、前記取り付けフランジ及び冷却空気吹き出しノズルは前記平坦面に面する前記取出窓の外面より没しており、少なくとも前記冷却空気吹き出しノズルに近い前記取付フランジの隅部は面取りされて滑らかな部分円筒面に形成され、該取り付けフランジの外面に沿って前記取出窓に向かう冷却空気のコアンダ効果流が形成されるようになっていることを特徴とする照射装置の粒子線取出窓構造。

引用特許：

出願人引用 (7件)

電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-267704 出願人：日新ハイボルテージ株式会社
電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-129462 出願人：日新ハイボルテージ株式会社
特表昭63-502730

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審査官引用 (12件)

電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-267704 出願人：日新ハイボルテージ株式会社
電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-129462 出願人：日新ハイボルテージ株式会社
特表昭63-502730

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