特許

J-GLOBAL ID：200903075553850644

薄膜磁気ヘッド用基板及び磁気ヘッド

発明者： 南上 英博 ,  高坂 祥二 ,  王 雨叢 ,  四方 邦英 ,  久保 和美 ,  小畑 正明 ,  松本 秀美
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-090030
公開番号（公開出願番号）：特開2002-288808
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】電気絶縁性、放熱性及び表面平滑性が優れるために小型化や高密度化が可能な薄膜磁気ヘッド用基板を提供する。【解決手段】表面粗さRaが1nm以下のβ型炭化珪素結晶を主体とする炭化珪素部材の表面に、厚さ0.5〜3μmの絶縁膜を形成してなることを特徴とするもので、特に、前記絶縁膜上の表面粗さRaが100nm以下であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

表面粗さRaが1nm以下のβ型炭化珪素結晶を主体とする炭化珪素部材の表面に、厚さ0.5〜3μmの絶縁膜を形成してなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド用基板。

IPC (6件)：

G11B 5/31 ,  C01B 31/36 601 ,  C01B 31/36 ,  C23C 16/40 ,  G11B 5/60 ,  G11B 21/21 101

FI (6件)：

G11B 5/31 G ,  C01B 31/36 601 F ,  C01B 31/36 601 Y ,  C23C 16/40 ,  G11B 5/60 B ,  G11B 21/21 101 K

Fターム (18件)：

4G046MA15 ,  4G046MB03 ,  4G046MB09 ,  4G046MC02 ,  4K030BA43 ,  4K030BB05 ,  4K030CA05 ,  4K030CA12 ,  4K030LA02 ,  4K030LA11 ,  5D033BA52 ,  5D033BB14 ,  5D033CA03 ,  5D033CA07 ,  5D033CA08 ,  5D042NA02 ,  5D042PA09 ,  5D042SA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 高研磨性と高熱伝導率を有する炭化ケイ素の製造方法とその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-189696   出願人：シーブイディー,インコーポレイティド
• 磁気ヘッド用基板及びこれを用いた磁気ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-227957   出願人：京セラ株式会社
• 炭化ケイ素およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-217924   出願人：旭硝子株式会社