特許
J-GLOBAL ID:200903075579995144
電界放出素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
脇 篤夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-111151
公開番号(公開出願番号):特開平9-283007
出願日: 1996年04月09日
公開日(公表日): 1997年10月31日
要約:
【要約】【課題】 低いアノード電圧により駆動できる電界放出素子を提供する。【解決手段】 ガラス等からなるカソード基板1上にカソード電極2が形成され、その上にコーン状のエミッタ5が形成されている。カソード電極2上のエミッタ5が形成されていない領域には絶縁層3が形成されており、その上には第1のゲート電極4か形成されている。以上により、電界放出カソードが構成されている。該電界放出カソードの上方には、第2のゲート電極11が配置されており、さらにその上方にアノード電極9が設けられている。該第2のゲート電極11には、第1のゲート電極4と同一の電圧が印加され、第2のゲート電極11と電荷放出カソードとの間に、空間電荷飽和領域が形成される。このとき、アノード電極9に数10ボルトの電圧を印加するだけで、該空間電荷飽和領域から電子をアノード電極9に引き寄せることができる。
請求項(抜粋):
基板上に形成されたカソード電極と、該カソード電極の上に形成されたエミッタと、該エミッタから電子を引き出すための引き出しゲート電極と、前記エミッタの上方に配置され、前記引き出しゲート電極により前記エミッタから引き出された電子を通過させるか否かを制御するためのカットオフ電極と、アノード電極とを有する電界放出素子。
引用特許:
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