静電アクチュエータ及びその駆動方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319329
公開番号（公開出願番号）：特開平9-163761
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】安定かつ良好な駆動を実現することを可能にする。【解決手段】第1の本体部2aと、この第1の本体部の面上に形成されて少なくとも2相の電圧が印加される複数の電極3aと、を有している固定子1aと、前記第1の本体部と対向するように配置される第2の本体部12と、この第2の本体部の、前記第1の本体部の電極が形成された面と対向する面に形成された複数の電極13aと、を有している可動子11と、を備え、前記第1および第2の本体部の対向する面の一方に突起12aが設けられていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

第1の本体部と、この第1の本体部の面上に形成されて少なくとも2相の電圧が印加される複数の電極と、を有している固定子と、前記第1の本体部と対向するように配置される第2の本体部と、この第2の本体部の、前記第1の本体部の電極が形成された面と対向する面に形成された複数の電極と、を有している可動子と、を備え、前記第1および第2の本体部の対向する面の一方に突起が設けられていることを特徴とする静電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

静電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-259274 出願人：住友重機械工業株式会社, 日本電気真空硝子株式会社
静電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-186315 出願人：株式会社安川電機

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