特許
J-GLOBAL ID：200903075607048067
配向性強誘電体薄膜素子の作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-170892
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078508
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 光学素子等に利用可能な強誘電体薄膜素子の作製方法を提供する。【構成】 有機金属化合物前駆体を単結晶基板上に塗布して有機金属化合物前駆体の薄膜を形成し、次いで該薄膜を熱分解処理に続いて結晶化処理を行うことにより、エピタキシャルまたは高配向であり透明な酸化物強誘電体薄膜を形成する。有機金属化合物前駆体として、沸点が80°C以上である有機化合物と金属との反応生成物である金属アルコキシド類および金属塩類より選ばれる複数の有機金属化合物の混合物、またはそれらの反応生成物を使用する。【効果】 表面が光学的に平滑、かつ透明で、高い屈折率を持ち、さらに配向性を持つ強誘電体薄膜素子が低コストで得られる。
請求項（抜粋）：
有機金属化合物前駆体を単結晶基板上に塗布して有機金属化合物前駆体の薄膜を形成し、次いで該薄膜を熱分解処理に続いて結晶化処理を行うことにより、エピタキシャルまたは高配向であり透明な酸化物強誘電体薄膜を形成することを特徴とする配向性強誘電体薄膜素子の作製方法。
IPC (5件)：
H01B 3/00
, H01G 4/10
, H01G 4/33
, H01L 37/02
, H01L 41/24
H01G 4/06 102
, H01G 4/10
, H01L 41/22 A
