特許
J-GLOBAL ID：200903075634656281
フッ化物結晶製造用原料およびその精製方法、フッ化物結晶およびその製造方法並びに光学部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-299292
公開番号（公開出願番号）：特開平11-228292
出願日： 1998年10月21日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：
【要約】【課題】 扱いの安易なフッ化炭素系ガスを用い、結晶にガスが取り込まれて透過率等を低下させるのを回避できる、安価で光学特性にすぐれたフッ化物結晶製造用原料およびその製造方法並びにフッ化物結晶およびその製造方法を提供すること。短波長で高出力の光を長期間繰り返し照射した場合であっても、透過率特性が劣化し難い光学部品を提供すること。【解決手段】 精製炉内のルツボ304にフッ化物原料305を装入後、精製炉内に反応性ガス306を導入し、フッ化物原料305を反応性ガス雰囲気中において融点未満の温度で加熱し、次いで、精製炉内雰囲気を真空雰囲気または不活性ガス雰囲気としてフッ化物原料305を溶解し、その後フッ化物原料305を冷却して固化することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
フッ化物原料を反応性ガス雰囲気中において該フッ化物原料融点未満の温度で加熱し、次いで、真空雰囲気または不活性ガス雰囲気中において該フッ化物原料を融解し、その後該フッ化物原料を冷却して結晶化することを特徴とするフッ化物結晶製造方法。
IPC (6件)：
C30B 29/12
, C01B 9/08
, C01B 11/22
, C01F 11/22
, C30B 11/12
, G02B 1/02
C30B 29/12
, C01B 9/08
, C01B 11/22
, C01F 11/22
, C30B 11/12
, G02B 1/02
