特許
J-GLOBAL ID：200903034295335871
フッ化カルシウム結晶、その製造方法 及びこれを用いた投影露光装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153769
公開番号（公開出願番号）：特開平10-001310
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】 ArFエキシマレーザーを光源とした光学系に用いることが可能な、耐ArFエキシマレーザー性に優れたフッ化カルシウム結晶が得られなかった。【解決手段】 ブリッジマン法において、温度条件、引き下げ速度等を精密に制御することによりフッ化カルシウム結晶中に含有するナトリウム量を0.2ppm以下に抑える。
請求項（抜粋）：
エキシマレーザーを光源とした光学系に用いられるフッ化カルシウム結晶において、該結晶中に含有されるナトリウム量が0.2ppm以下であり、エネルギー密度100mJ/(cm2 Pulse) のArFエキシマレーザーを104 パルス以上照射したときの193nmの透過率低下が厚さ1cmあたり5%以下であるフッ化カルシウム結晶。
IPC (3件)：
C01F 11/22
, C30B 11/00
, C30B 29/12
C01F 11/22
, C30B 11/00 Z
, C30B 29/12
