特許
J-GLOBAL ID：200903075643522107
フラットパネルディスプレイ用透明基板の画像検査装置及び画像検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 征生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-222647
公開番号（公開出願番号）：特開2006-038775
出願日： 2004年07月29日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：
【課題】 フラットパネルディスプレイ用のガラス基板のパターンと周辺部の欠陥を画像処理で検出する際、ガラス基板の自重による撓みにより撮像画像に焦点ズレと照明透過光のゆがみによる階調乱れが生じ、検出精度が低下、不安定化している。【解決手段】 ガラス基板5を載置架台4の載置板3上に載置する。画像処理手段12はラインセンサカメラ1と照明発光部8とをガラス基板5の検査対象エリアに移動させる。高さ検出センサ2はガラス基板5の撓みをラインセンサカメラ1の高さとして測定する。高さ制御機構11はこの測定結果を撓みの無い高さと比較し、給気量を制御して載置架台4の密閉空間6の内部圧力を制御し、載置板3を変形させてガラス基板5の撓みを物理的に補正する。その後、画像処理手段12は、ラインセンサカメラ1で照明発光部8からの透過光を撮像し、撮像した画像を処理して当該検査エリアのパターンと周辺部の欠陥の有無を判定する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
フラットパネルディスプレイを構成する加工された透明基板を載置する載置架台と、前記載置された透明基板に発生した撓みを検出する撓み検出手段と、前記検出された撓み量に応じて前記透明基板の撓みを物理的に補正する撓み補正手段と、前記撓みを補正した透明基板に照明手段からの光を透過させて撮像する撮像手段と、前記撮像した画像の処理により前記透明基板の加工部の欠陥の有無を検査する画像処理手段とを、備えたことを特徴とするフラットパネルディスプレイ用透明基板の画像検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2G051AA73
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051CB02
, 2G051DA06
, 2G051EA12
, 2G051EA30
