特許
J-GLOBAL ID：200903075653950409

マイクロ流体デバイス及びその流量調節方法

発明者：
穴澤 孝典

穴澤 孝典 について

, 
寺前 敦司

寺前 敦司 について


出願人/特許権者：
財団法人川村理化学研究所

財団法人川村理化学研究所 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-054187
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340797
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：
【要約】【課題】高い位置決め精度を要しないで、微細な流路に対してダイヤフラムの変位を制御する。【解決手段】毛細管状の流路5とこの流路に対して変位可能なダイヤフラム7とからなるダイヤフラムバルブを有する。第三樹脂層4のダイヤフラム7の位置に筒状の案内部13を設けた。案内部13内で流路5の広幅部6に対向するダイヤフラム7上に鋼球12を設ける。摺動子を案内部13内に挿入するだけで鋼球12を介してダイヤフラム7を精密に変位させて流路5を広幅部6で開閉制御する。
請求項（抜粋）：
毛細管状の流路とこの流路に対して変位可能なダイヤフラムとからなるダイヤフラムバルブを有していて、前記ダイヤフラムの変位すべき部位に対応してダイヤフラムを変位させるための案内部を設けたことを特徴とするマイクロ流体デバイス。
IPC (8件)：
B81B 3/00 ,  B01J 19/00 321 ,  F16K 21/00 ,  F16K 31/524 ,  F16K 7/16 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/00 ,  G01N 37/00 101
FI (8件)：
B81B 3/00 ,  B01J 19/00 321 ,  F16K 21/00 B ,  F16K 31/524 B ,  F16K 7/16 Z ,  G01N 1/00 101 L ,  G01N 1/00 101 M ,  G01N 37/00 101
Fターム (19件)：
2G052CA09 ,  2G052CA35 ,  2G052CA38 ,  3H063AA10 ,  3H063BB32 ,  3H063DA08 ,  3H063DB15 ,  3H063EE12 ,  3H063FF03 ,  3H063GG17 ,  4G075AA13 ,  4G075AA39 ,  4G075AA61 ,  4G075BA10 ,  4G075DA02 ,  4G075EC25 ,  4G075EE12 ,  4G075FA01 ,  4G075FB12
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 特開平1-266376
  • ダイヤフラムシリンダ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-110360   出願人：株式会社コガネイ
  • 特開平1-266376

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