基板表面の欠陥検出方法およびその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-034803
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243651
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】方向性を有した欠陥は、レーザビームの照射方向によっては散乱光が少なくなり、欠陥を検出することが困難であった。【解決手段】集光輪帯レーザビーム11を基板表面上に照射して走査させることにより、欠陥6の方向性に依存しない基板表面の欠陥検出を実現し、検出時間の短縮とコストの低減を図る。

請求項（抜粋）：

集光された輪帯状の光を基板表面に照射して投影輪帯を形成する工程と、前記輪帯状の光を基板表面を走査して前記投影輪帯からの散乱光を検出して、輪帯上の異物や欠陥を検出する工程とを有することを特徴とする基板表面の欠陥検出方法。

IPC (5件)：

G01N 21/956 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/66 , H04N 17/04

FI (5件)：

G01N 21/956 A , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/66 J , H04N 17/04 Z

Fターム (28件)：

2G051AA51 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA10 , 2G051BB07 , 2G051BB17 , 2G051CA04 , 2G051CB05 , 2G051DA07 , 2G051EA08 , 2G051EA14 , 2G051EA25 , 2H088FA11 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 2H090JC01 , 2H090JC18 , 2H090JD13 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA38 , 4M106CA41 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DJ04 , 5C061BB03 , 5C061CC05

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平1-121739
特開平1-121739
特開平2-147845

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