特許
J-GLOBAL ID：200903075668376032
電気物性の測定方法および顕微鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間山 進也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-179732
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020516
出願日： 2002年06月20日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】分子レベルの空間分解能で局所的な光および電気特性を得ることを可能にし、試料表面の分子分布を光学特性の測定とは独立して観測することを可能にするための電気物性の測定方法および顕微鏡装置を提供する。【解決手段】導電性の基板1に配置した試料2に導電性の探針3を接触させる段階と、基板1に電圧を印加して基板1と探針3との間に電流を流す段階と、探針3が接触する試料2の局所部分にレーザ光4を照射して局所部分を励起させる段階と、基板1と探針3との間において、励起させることにより増加する電流を計測する段階とを含む電気物性の測定方法、および導電性の基板に配置した試料に接触可能な導電性の探針と、試料にレーザ光を照射して試料の局所部分を励起させるためのレーザ照射装置と、基板と探針との間に流れる電流を計測するための電流測定手段とを含む顕微鏡装置を用いる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
導電性の基板に配置した試料に導電性の探針を接触させる段階と、前記基板に電圧を印加して前記基板と前記探針との間に電流を流す段階と、前記探針が接触する前記試料の局所部分にレーザ光を照射して該局所部分を励起させる段階と、前記基板と前記探針との間において、励起させることにより増加する電流を計測する段階とを含む、電気物性の測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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