特許

J-GLOBAL ID：200903020093646971

導電性走査型顕微鏡用プローブ及びこれを用いた加工方法

発明者： 中山 喜萬 ,  秋田 成司 ,  原田 昭雄 ,  大川 隆 ,  高野 雄一 ,  安武 正敏 ,  白川部 喜治
出願人/特許権者： 中山 喜萬 ,  大研化学工業株式会社 ,  セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-403559
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162336
出願日： 2000年11月26日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 探針となる導電性ナノチューブと試料の間に電圧を印加したり、通電させたりすることができる導電性走査型顕微鏡用プローブを実現する。【解決手段】 本発明に係る導電性走査型顕微鏡用プローブ20は、カンチレバー4に固着された導電性ナノチューブ探針12の先端14aにより試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー4の表面に形成された導電性被膜17と、カンチレバー4の所要部表面に基端部16を接触配置された導電性ナノチューブ12と、この導電性ナノチューブ12の基端部16から前記導電性皮膜17の一部を被覆して導電性ナノチューブ12を固定する導電性堆積物18から構成され、導電性ナノチューブ12と導電性被膜17を導電性堆積物18により導通状態にすることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

カンチレバー4に固着された導電性ナノチューブ探針12の先端14aにより試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー4の表面に形成された導電性被膜17と、カンチレバー4の所要部表面に基端部16を接触配置された導電性ナノチューブ12と、この導電性ナノチューブ12の基端部16から前記導電性皮膜17の一部を被覆して導電性ナノチューブ12を固定する導電性堆積物18から構成され、導電性ナノチューブ12と導電性被膜17を導電性堆積物18により導通状態にしたことを特徴とする導電性走査型顕微鏡用プローブ。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  G12B 21/08

FI (4件)：

G01N 13/16 C ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  G12B 1/00 601 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法、及びこれにより形成されたプローブを用いた走査型プローブ顕微鏡、情報処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-203776   出願人：キヤノン株式会社
• 走査型探針顕微鏡用探針、その製造方法、当該探針を用いた記録再生装置及び微細加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-231401   出願人：松下電器産業株式会社
• 炭素原子クラスターイオン生成装置及び炭素原子クラスターイオンの生成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-073589   出願人：科学技術振興事業団