特許
J-GLOBAL ID：200903075674555127
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245883
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110586
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ウエハチッャク上に付着した異物の早期発見を図ることにより、ウエハチャック付着異物に起因する解像不良による歩留り低下を防止する技術を提供する。【構成】ウェーハ11に塗布されたホトレジストを感光させるための照明系2と、レチクル8に形成されたパターンを縮小させてウェーハ11に投影させる投影系3と、XYテーブル12に設けられウェーハ11を吸着し固定するウェーハチャック12aと、ショット中心に測定点17cを設け、自動的に焦点調節を行なうオートフォーカス機構10とを備えた露光装置1のオートフォーカス機構10に、ショット中心以外に複数の測定点17a、17b、17d、17eを設け、すべての測定点についてフォーカスモニターを行ない、連続したショット及び連続したウェーハの同一ショットのフォーカス差を比較し、トレランス判定するフォーカス差判定装置13を接続する。
請求項（抜粋）：
ウェーハに塗布されたホトレジストを感光させるための照明系と、レチクルに形成されたパターンを縮小させて前記ウェーハに投影させる投影系と、XYテーブルに設けられウェーハを吸着し固定するウェーハチャックと、ショット中心に測定点を設け、自動的に焦点調節を行なうオートフォーカス機構とを備えた露光装置であって、前記オートフォーカス機構には、前記ショット中心以外に複数の測定点を設け、すべての測定点についてフォーカスモニターを行ない、連続したショット及び連続したウェーハの同一ショットのフォーカス差を比較し、トレランス判定するフォーカス差判定装置を接続していることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03B 27/34
, G03F 7/207
, H01L 21/027
