特許

J-GLOBAL ID：200903075695117090

集光シミュレータ

発明者： 大河内 直紀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132861
公開番号（公開出願番号）：特開2000-324518
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 カメラレンズ系による集光光をマイクロレンズを設けた固体撮像素子に入射させるときの正確な集光シミュレーションを行う。【解決手段】 カメラレンズ系の光学設計値データを入力する第1入力手段と、マイクロレンズの構造データを入力する第2入力手段と、固体撮像素子の構造データを入力する第3入力手段と、固体撮像素子のフォトダイオードの位置を入力する第4入力手段と、固体撮像素子の各界面での光の入射角、屈折角、光の透過率、反射率を計算する第1計算手段と、カメラレンズ系の口径食を考慮し、入射光強度の光軸に対する入射角依存性を計算する第2計算手段と、上記入力手段による入力データと上記計算手段の計算結果とに基づいて、フォトダイオードの受光量を計算する第3計算手段とを備えて集光シミュレータが構成される。

請求項（抜粋）：

カメラレンズ系により集光された光を画素毎にマイクロレンズを設けた固体撮像素子に入射させるときの集光シミュレーションを行う集光シミュレータであって、前記カメラレンズ系の光学設計値に関するデータを入力する第1入力手段と、前記マイクロレンズの構造に関するデータを入力する第2入力手段と、前記マイクロレンズの下側における前記固体撮像素子を構成するフォトダイオードを含む部材の構造に関するデータを入力する第3入力手段と、前記固体撮像素子における撮像面の画素を構成する前記フォトダイオードの位置を入力する第4入力手段と、前記マイクロレンズ、前記フォトダイオードおよび前記部材の各界面での光の入射角および屈折角、光の透過率および反射率を計算する第1計算手段と、前記カメラレンズ系の口径食を考慮し、入射光強度の光軸に対する入射角依存性を計算する第2計算手段と、前記第1〜第4入力手段により入力されたデータと前記第1および第2計算手段の計算結果とに基づいて、前記撮像面の各画素位置における前記フォトダイオードの受光量を計算する第3計算手段とを備えたことを特徴とする集光シミュレータ。

IPC (4件)：

H04N 17/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 29/00 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H04N 17/00 K ,  H01L 29/00 ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 Z

Fターム (13件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA02 ,  4M118FA06 ,  4M118GB11 ,  4M118GD04 ,  5C024AA01 ,  5C024CA31 ,  5C024EA04 ,  5C061BB06 ,  5C061CC01 ,  5C061CC09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-073701
  
• 特開平2-086276
  
• 固体撮像素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-196084   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法および撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-250170   出願人：ソニー株式会社