特許

J-GLOBAL ID：200903075716590696

露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 高橋 正人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-309545
公開番号（公開出願番号）：特開2007-123319
出願日： 2005年10月25日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：

【課題】ケーブル類の使用を抑え、良好に温度調整される露光装置を提供する。【解決手段】露光装置EXは、電力を受給する受給器を有し、受給した電力によって駆動する温調システム30と、受給器とは非接触状態で受給器に電力を供給する供給器とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、 電力を受給する受給器を有し、前記受給した電力によって駆動する温度調整装置と、 前記受給器とは非接触状態で前記受給器に電力を供給する供給器とを備えた露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 516E ,  H01L21/30 514E ,  G03F7/20 521

Fターム (4件)：

5F046AA17 ,  5F046AA22 ,  5F046BA03 ,  5F046DA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-131776   出願人：株式会社ニコン