X-Yテーブル

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316005
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138371
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】高速精密位置決めの安定した制御を可能とするX-Yテーブルを得る。【解決手段】 X軸ベース1上にX軸方向に移動自在に支持したX軸テーブル3と、X軸ベース1上に支持され、Y軸方向に移動自在なY軸テーブル6と、X軸テーブル3の移動に追随してX軸方向に移動自在であると共に、Y軸テーブル6の移動に追随してY軸方向に移動自在にY軸テーブル6上に支持したトップテーブル7と、トップテーブル7の下方に設けたトップテーブルスライダ71と、トップテーブルスライダ71が摺動し得るY軸テーブル6上に設けたトップテーブルガイドレール62とを備え、X軸テーブル3にY軸方向に伸びる牽引ガイドレール33を、トップテーブル7に牽引ガイドレール33に係合する牽引スライダ73をそれぞれ設けている。したがって、トップテーブルにはモーメントは働かず、トップテーブルスライダとトップテーブルガイドレールとの間にこじれが生じない。

請求項（抜粋）：

固定ベース上にX軸方向に移動自在に支持したX軸テーブルと、前記固定ベース上にY軸方向に移動自在に支持したY軸テーブルと、前記X軸テーブルの移動に追随してX軸方向に移動自在であると共に、前記Y軸テーブルの移動に追随してY軸方向に移動自在に前記Y軸テーブル上に支持したトップテーブルと、前記トップテーブルの下方に設けたトップテーブルスライダと、前記トップテーブルスライダが摺動し得る前記Y軸テーブル上に設けたトップテーブルガイドレールとを備えたX-Yテーブルにおいて、前記X軸テーブルにY軸方向に伸びる牽引ガイドレールを、前記トップテーブルに前記牽引ガイドレールに係合する牽引スライダをそれぞれ設けたことを特徴とするX-Yテーブル。

IPC (3件)：

B23Q 1/25 , G12B 5/00 , H01L 21/52

FI (3件)：

B23Q 1/18 A , G12B 5/00 T , H01L 21/52 F

引用特許：

審査官引用 (1件)

XYテーブル装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-283919 出願人：日本精工株式会社

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