特許

J-GLOBAL ID：200903075750769301

加速度センサ

発明者： 吉川 英治 ,  番 政広 ,  平田 善明
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-136998
公開番号（公開出願番号）：特開2004-340716
出願日： 2003年05月15日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】可動部の剛性を高めて信頼性向上を図るとともに、加速度に対する出力信号の線形性向上を図った加速度センサを提供する。【解決手段】基板1上に形成された第1、第2の固定電極2a、2bと、第1の可動電極部と第2の可動電極部と可動電極部連結部からなり第1、第2の固定電極2a、2bと対向する可動電極4と、可動電極部連結部と基板1とを間隔を有するように接続して可動電極4を支持しかつねじれ変形可能な可動部材5と、第1、第2の可動電極部の間に配置され加速度に応答して基板1の板厚方向に変位する質量体6と、質量体6を基板1と間隔を有するように弾性支持する質量体支持部材7と、可動電極部連結部と質量体6とを連結する質量体連結部材8とを備え、可動部材5は第1、第2の可動電極部間の中間点を通る直線A-A’上に配置され、質量体連結部材8は可動部材5に対して平行かつ間隔を有して配置されるようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第1および第2の固定電極と、 第1の固定電極とともに第1の静電容量を形成する第1の可動電極部、第2の固定電極とともに第2の静電容量を形成する第2の可動電極部、第1および第2の可動電極部を連結する可動電極部連結部からなり、第1および第2の固定電極に間隔を有して対向する可動電極と、 可動電極部連結部と基板とを間隔を有するように接続して可動電極を支持するとともにねじれ変形可能な可動部材と、 第1および第2の可動電極部の間に配置され加速度に応答して基板の板厚方向に変位する質量体と、 質量体を基板と間隔を有するように弾性支持する質量体支持部材と、 可動電極部連結部と質量体とを連結する質量体連結部材とを備え、 可動部材は第1および第2の可動電極部間の中間点を通る直線上に配置され、質量体連結部材は可動部材に対して平行かつ間隔を有して配置されたことを特徴とする加速度センサ。

IPC (1件)：

G01P15/125

FI (1件)：

G01P15/125 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体チツプ運動変換器及びその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-040785   出願人：ザ・チヤールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテツド
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-311367   出願人：三菱電機株式会社