特許
J-GLOBAL ID：200903075768936930
検査用ウェーハ、その作成方法、及びそれを用いた検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-293350
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118902
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】本発明は、エッチング液などの薬液の削減、熱処理時の割れを防止し、抵抗率、酸素濃度、炭素濃度を同一検査用ウェーハで精度良く測定できる検査用ウェーハの提供。【解決手段】表面が高輝度平面研削面であり、且つ該平面研削面の光沢度が、鏡面研磨ウェーハを100%としたときに、70%以上、好ましくは90%以上の高輝度面に設定された検査用ウェーハを用いて、4探針法による物性評価および、又は赤外吸収法による物性評価を行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
接触式による物性評価および、又は非接触式による物性評価を行うための検査用ウェーハであって、前記ウェーハの検査表面が高輝度平面研削面であることを特徴とする検査用ウェーハ。
Fターム (14件)：
4M106AA01
, 4M106BA08
, 4M106BA11
, 4M106BA12
, 4M106BA14
, 4M106CA10
, 4M106CB01
, 4M106CB03
, 4M106DH09
, 4M106DH13
, 4M106DH51
, 4M106DH56
, 4M106DH57
, 4M106DH60
