ガス検知装置及びその運転方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247264
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062276
出願日： 2000年08月17日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、金属酸化物半導体を主成分とするガス感応部を備え、ガス感応部を複数種の検知温度に設定切換した場合に、夫々の検知温度で異なる被検知ガスを検知可能なガス検知装置及びその運転方法において、複数の被検知ガスを好ましい状態で検知することができる技術を実現することを目的とする。【解決手段】ガス感応部を、複数種の検知温度に順次切り換えると共に、複数種の検知温度の切り換えに際して、ガス感応部を、複数種の検知温度よりも高いパージ温度に設定してパージ処理する。

請求項（抜粋）：

金属酸化物半導体を主成分とするガス感応部を備え、前記ガス感応部を複数種の検知温度に設定切換した場合に、夫々の前記検知温度で異なる被検知ガスを検知可能なガス検知装置の運転方法であって、前記ガス感応部を、前記複数種の検知温度に順次切り換えると共に、前記複数種の検知温度の切り換えに際して、前記ガス感応部を、前記複数種の検知温度よりも高いパージ温度に設定してパージ処理するガス検知装置の運転方法。

FI (2件)：

G01N 27/12 B , G01N 27/12 C

Fターム (17件)：

2G046AA11 , 2G046AA25 , 2G046BA02 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BC03 , 2G046BJ02 , 2G046DB05 , 2G046DC02 , 2G046EA03 , 2G046EA04 , 2G046EA08 , 2G046EB05 , 2G046FB02 , 2G046FE15 , 2G046FE29 , 2G046FE31

引用特許：

出願人引用 (5件)

ガス漏れ警報器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-229598 出願人：新コスモス電機株式会社
ガス検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-126887 出願人：フィガロ技研株式会社
ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-074941 出願人：三菱マテリアル株式会社

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審査官引用 (6件)

半導体ガス検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-321189 出願人：株式会社リコー
ガス漏れ警報器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-229598 出願人：新コスモス電機株式会社
ガス検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-126887 出願人：フィガロ技研株式会社

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