特許
J-GLOBAL ID：200903075786088637

レーザ蒸着用ターゲットおよびその製造方法

発明者：
村上 法史

村上 法史 について


出願人/特許権者：
DOWAエレクトロニクス株式会社

DOWAエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (2件)： 阿仁屋 節雄 ,  清野 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-062631
公開番号（公開出願番号）：特開2009-215629
出願日： 2008年03月12日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：
【課題】バッキングプレートを用いないでレーザが照射された場合でも、クラックが入り難く、且つ、適用可能な酸化物超電導焼結体の組成範囲が広いレーザ蒸着用ターゲットを提供する。【解決手段】酸化物超電導焼結体を含むレーザ蒸着用のターゲットであって、当該ターゲット使用面に垂直な向きにおける線熱膨張率の値が、当該ターゲット使用面に平行な向きにおける線熱膨張率の値より10%以上大きいことを特徴とするレーザ蒸着用ターゲットを提供する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
酸化物超電導焼結体を含むレーザ蒸着用のターゲットであって、当該ターゲット使用面に垂直な向きにおける線熱膨張率の値が、当該ターゲット使用面に平行な向きにおける線熱膨張率の値より10%以上大きいことを特徴とするレーザ蒸着用ターゲット。
IPC (4件)：
C23C 14/24 ,  C23C 14/28 ,  C23C 14/08 ,  C04B 35/00
FI (4件)：
C23C14/24 E ,  C23C14/28 ,  C23C14/08 K ,  C04B35/00 J
Fターム (21件)：
4G030AA10 ,  4G030AA11 ,  4G030AA12 ,  4G030AA31 ,  4G030BA02 ,  4G030GA01 ,  4G030GA03 ,  4G030GA04 ,  4G030GA08 ,  4G030GA11 ,  4G030GA22 ,  4K029BA50 ,  4K029BC04 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DB20 ,  5G321AA02 ,  5G321AA04 ,  5G321CA21 ,  5G321DB37
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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