特許

J-GLOBAL ID：200903075802106136

圧電薄膜振動子及びこれを用いた周波数可変共振器

発明者： 阿部 和秀 ,  梁瀬 直子 ,  安本 恭章 ,  尾原 亮一 ,  清水 達雄 ,  川久保 隆
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-288763
公開番号（公開出願番号）：特開2003-101375
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】【課題】 大きな電気機械結合係数をもち、大きな機械的品質係数を示し、直流電界の印加により、大きく共振周波数を変化させることが可能な薄膜圧電振動子を提供する。【解決手段】 圧電体薄膜として(001)方位にエピタキシャル成長させたチタン酸バリウムの薄膜を用いる。面内の歪みを制御することにより、分極の成分を膜厚方向となるようなc phaseの状態で使用する。また、面内の歪が-0.025より大きい領域で使用する。

請求項（抜粋）：

両面に一対の電極が形成された圧電体膜と、前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極に隣接して設けられた音響反射部とを具備する圧電薄膜振動子において、前記圧電体膜が、チタン酸バリウムを主成分とするエピタキシャル強誘電体薄膜であり、前記エピタキシャル強誘電体薄膜の自発分極の向きが、膜厚方向に単一配向していることを特徴とする圧電薄膜振動子。

IPC (4件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H03H 9/58

FI (5件)：

H03H 9/17 F ,  H03H 9/58 Z ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 Z

Fターム (6件)：

5J108AA07 ,  5J108BB04 ,  5J108CC04 ,  5J108EE03 ,  5J108EE13 ,  5J108FF11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 圧電共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-150981   出願人：京セラ株式会社
• 特開平2-094209
  
• 薄膜電圧同調型半導体バルク音響共振器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-280817   出願人：ティアールダブリューインコーポレイテッド