特許
J-GLOBAL ID:200903075824950445

カーボンナノチューブ構造体、半導体装置、および半導体パッケージ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-292843
公開番号(公開出願番号):特開2006-108377
出願日: 2004年10月05日
公開日(公表日): 2006年04月20日
要約:
【課題】 カーボンナノチューブ束の密度を向上し、電気抵抗や熱抵抗の低減を図るカーボンナノチューブ構造体、半導体装置、および半導体パッケージを提供する。【解決手段】 第1配線層21、層間絶縁膜22、第2配線層23が順次積層され、層間絶縁膜22を貫通するビアホール24に、第1配線層21と第2配線層23を電気的に接続するカーボンナノチューブ束25が形成されてなるビア26から構成する。カーボンナノチューブ束25は、第1配線層21の凹部28の側面および底面に形成された触媒層29から成長させ、側面から成長したカーボンナノチューブ25aによりカーボンナノチューブ束25の密度を向上する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
第1の導電体と、 前記第1の導電体を覆う絶縁膜と、 前記絶縁膜上に配設された第2の導電体と、 前記絶縁膜を貫通し第1の導電体の表面を露出する開口部に充填され、第1の導電体と第2の導電体とを電気的に接続するカーボンナノチューブとを備え、 前記カーボンナノチューブの一端は、前記第1の導電体の表面に設けられた凹部に固着されてなる半導体装置。
IPC (7件):
H01L 23/522 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/285 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/78 ,  H01L 23/373
FI (8件):
H01L21/90 B ,  H01L21/28 L ,  H01L21/28 301Z ,  H01L21/285 C ,  H01L21/90 D ,  H01L29/50 M ,  H01L29/78 301X ,  H01L23/36 M
Fターム (91件):
4M104AA01 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD16 ,  4M104DD19 ,  4M104DD20 ,  4M104DD45 ,  4M104FF06 ,  4M104FF21 ,  4M104FF27 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ36 ,  5F033KK01 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033KK15 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK21 ,  5F033KK33 ,  5F033MM01 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN07 ,  5F033NN13 ,  5F033PP03 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ14 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR15 ,  5F033RR21 ,  5F033RR25 ,  5F033SS04 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033XX03 ,  5F033XX09 ,  5F036AA01 ,  5F036BA23 ,  5F036BB21 ,  5F036BC33 ,  5F140AA01 ,  5F140AA39 ,  5F140BA01 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BF59 ,  5F140BF60 ,  5F140BG08 ,  5F140BH07 ,  5F140BH08 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ13 ,  5F140BJ15 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ18 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ26 ,  5F140BJ27 ,  5F140BJ28 ,  5F140BK25 ,  5F140BK26 ,  5F140BK29 ,  5F140BK30 ,  5F140BK34 ,  5F140BK39 ,  5F140CA02 ,  5F140CA03 ,  5F140CB04 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CF05
引用特許:
出願人引用 (1件)

前のページに戻る