カーボンナノチューブ構造体、半導体装置、および半導体パッケージ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-292843
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108377
出願日： 2004年10月05日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】カーボンナノチューブ束の密度を向上し、電気抵抗や熱抵抗の低減を図るカーボンナノチューブ構造体、半導体装置、および半導体パッケージを提供する。【解決手段】第1配線層21、層間絶縁膜22、第2配線層23が順次積層され、層間絶縁膜22を貫通するビアホール24に、第1配線層21と第2配線層23を電気的に接続するカーボンナノチューブ束25が形成されてなるビア26から構成する。カーボンナノチューブ束25は、第1配線層21の凹部28の側面および底面に形成された触媒層29から成長させ、側面から成長したカーボンナノチューブ25aによりカーボンナノチューブ束25の密度を向上する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1の導電体と、前記第1の導電体を覆う絶縁膜と、前記絶縁膜上に配設された第2の導電体と、前記絶縁膜を貫通し第1の導電体の表面を露出する開口部に充填され、第1の導電体と第2の導電体とを電気的に接続するカーボンナノチューブとを備え、前記カーボンナノチューブの一端は、前記第1の導電体の表面に設けられた凹部に固着されてなる半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 23/522 , H01L 21/768 , H01L 21/28 , H01L 21/285 , H01L 29/417 , H01L 29/78 , H01L 23/373

FI (8件)：

H01L21/90 B , H01L21/28 L , H01L21/28 301Z , H01L21/285 C , H01L21/90 D , H01L29/50 M , H01L29/78 301X , H01L23/36 M

Fターム (91件)：

4M104AA01 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104DD16 , 4M104DD19 , 4M104DD20 , 4M104DD45 , 4M104FF06 , 4M104FF21 , 4M104FF27 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH33 , 5F033JJ36 , 5F033KK01 , 5F033KK08 , 5F033KK11 , 5F033KK15 , 5F033KK18 , 5F033KK19 , 5F033KK21 , 5F033KK33 , 5F033MM01 , 5F033MM12 , 5F033MM13 , 5F033NN07 , 5F033NN13 , 5F033PP03 , 5F033PP06 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ08 , 5F033QQ10 , 5F033QQ13 , 5F033QQ14 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033RR01 , 5F033RR04 , 5F033RR15 , 5F033RR21 , 5F033RR25 , 5F033SS04 , 5F033SS08 , 5F033SS11 , 5F033XX03 , 5F033XX09 , 5F036AA01 , 5F036BA23 , 5F036BB21 , 5F036BC33 , 5F140AA01 , 5F140AA39 , 5F140BA01 , 5F140BF11 , 5F140BF18 , 5F140BF59 , 5F140BF60 , 5F140BG08 , 5F140BH07 , 5F140BH08 , 5F140BJ08 , 5F140BJ11 , 5F140BJ13 , 5F140BJ15 , 5F140BJ17 , 5F140BJ18 , 5F140BJ20 , 5F140BJ26 , 5F140BJ27 , 5F140BJ28 , 5F140BK25 , 5F140BK26 , 5F140BK29 , 5F140BK30 , 5F140BK34 , 5F140BK39 , 5F140CA02 , 5F140CA03 , 5F140CB04 , 5F140CC01 , 5F140CC03 , 5F140CC08 , 5F140CF05

引用特許：

出願人引用 (1件)

カーボンナノチューブからなる電気的に導電性の接続を有する電子部品とその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-560448 出願人：インフィネオンテクノロジーズアクチエンゲゼルシャフト

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