特許

J-GLOBAL ID：200903048959537877

カーボンナノチューブからなる電気的に導電性の接続を有する電子部品とその製造方法

発明者： エンゲルハート,マンフレット ,  ヘンライン,ヴォルフガング ,  クロイプル,フランツ
出願人/特許権者： インフィネオン テクノロジーズ アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 原 謙三 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-560448
公開番号（公開出願番号）：特表2003-523608
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2003年08月05日
要約：

【要約】本発明は、第1導電層、非導電層および第2導電層を有する電子部品に関するものである。非導電層を通ってホールがエッチングされている。上記ホールに設けられたナノチューブが、第1導電層を第2導電層に導電して接続する。

請求項（抜粋）：

第1導電層と、 第1導電層の上の非導電層と、 非導電層の上の第2導電層と、 非導電層を貫通する少なくとも1つのホールと、 ホールにあり、第1導電層を第2導電層に接続する少なくとも1つのナノチューブとを含む電子部品。

IPC (2件)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02

FI (2件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 F

Fターム (19件)：

5C127AA01 ,  5C127BA13 ,  5C127BA15 ,  5C127BB02 ,  5C127BB07 ,  5C127CC03 ,  5C127DD32 ,  5C127DD52 ,  5C127DD99 ,  5C127EE17 ,  5C127EE20 ,  5C135AA13 ,  5C135AA15 ,  5C135AB02 ,  5C135AB07 ,  5C135AC02 ,  5C135GG11 ,  5C135HH17 ,  5C135HH20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-097948   出願人：富士通株式会社
• 集積回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-092472   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト, インターナショナルビジネスマシーンズコーポレーション
• カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-305512   出願人：キヤノン株式会社
• 原位置微小相互接続回路装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-325116   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレーテッド