特許
J-GLOBAL ID：200903075839309860

板状物品の流体処理用装置

発明者：
オブベガー,ライナー

オブベガー,ライナー について


出願人/特許権者：
エスイーゼツト・アクチエンゲゼルシヤフト

エスイーゼツト・アクチエンゲゼルシヤフト について


代理人 (1件)： 特許業務法人小田島特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-557705
公開番号（公開出願番号）：特表2009-528916
出願日： 2007年02月07日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：
ここに開示されるのは、板状物品の流体処理用の装置であって、板状物品を保持しかつこれを実質的に垂直方向の回転軸線まわりに回転させるための回転ヘッド;回転ヘッドのまわりの放射状に配列され非接触で回転ヘッドを懸架しかつ駆動するための駆動手段;回転軸線と実質的に同心であり、かつ回転ヘッドと駆動手段との間に配置されそして回転ヘッドと駆動手段との間の間隙に挿入された実質的に円筒状の側壁;回転ヘッドと壁とを互いに昇降させるための持上げ手段を備えた装置である。
請求項（抜粋）：
板状物品を保持しかつ回転軸線まわりに回転させるための回転ヘッド、 回転ヘッドを接触しないで懸架して駆動するため回転ヘッドのまわりに放射状に配列された駆動手段、 回転軸と実質的に同心に回転ヘッドと駆動手段との間に設けられかつ回転ヘッドと駆動手段との間の間隙内に挿入された円筒状の壁、及び 回転ヘッド及び円筒状の壁を互いに回転軸線に沿って軸方向に動かすための軸方向移動手段 を備えた、板状物品の流体処理のための装置。
IPC (3件)：
B08B 3/02 ,  H01L 21/683 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B08B3/02 B ,  H01L21/68 N ,  H01L21/304 648Z ,  H01L21/304 643A
Fターム (43件)：
3B201AA03 ,  3B201AB02 ,  3B201AB33 ,  3B201AB42 ,  3B201BB02 ,  3B201BB23 ,  3B201BB82 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201BB98 ,  3B201BC01 ,  3B201CC11 ,  3B201CC13 ,  3B201CC15 ,  3B201CD43 ,  5F031CA01 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031HA12 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031HA71 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031MA23 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157BB23 ,  5F157BB73 ,  5F157BB76 ,  5F157CB11 ,  5F157CB13 ,  5F157CE23 ,  5F157CF12 ,  5F157CF22 ,  5F157CF46 ,  5F157CF90 ,  5F157DB02
引用特許：
出願人引用 (13件)
  • 米国特許第6,485,531号 明細書
  • 米国特許第6,222,290号 明細書
  • 米国特許第4,903,717号 明細書
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審査官引用 (2件)

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