特許

J-GLOBAL ID：200903075848675984

蛍光X線分析装置

発明者： 片岡 由行 ,  井上 達也
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-276754
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105208
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】 作業者の負担を少なくして自動的に分析精度の管理のための工程管理分析が行われる蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】 標準化試料3が保管される保管部21、およびこの保管部21の標準化試料3を測定部11の試料投入口15に移動させる移動機構24を有する自動試料交換機20と、この自動試料交換機20の保管部21における各標準化試料の位置を記憶する第1の記憶手段41と、分析試料に近い既知の組成を持つチェック試料の各成分の分析結果がそれぞれ予め設定した規格値内であるか否かを判別するチェック分析結果判別手段31と、前記チェック試料に規格値外の成分がある場合、前記自動試料交換機21によってチェック試料をこの規格値外の成分の標準化用として予め指定された標準化試料に交換する標準化試料交換制御手段32と、前記交換された標準化試料の蛍光X線強度の測定結果からドリフト補正係数を算出するドリフト補正係数算出手段33とを備える。

請求項（抜粋）：

試料にX線を照射し、試料から発生する蛍光X線を検出する測定部を備え、この測定部での検出結果から試料の分析を行う蛍光X線分析装置であって、標準化試料が保管される保管部、およびこの保管部の標準化試料を前記測定部の試料投入口に移動させる移動機構を有する自動試料交換機と、この自動試料交換機の保管部における各標準化試料の位置を記憶する第1の記憶手段と、分析試料に近い既知の組成を持つチェック試料の各成分の分析結果がそれぞれ予め設定した規格値内であるか否かを判別するチェック分析結果判別手段と、前記チェック試料に規格値外の成分がある場合、前記自動試料交換機によってチェック試料をこの規格値外の成分の標準化用として予め指定された標準化試料に交換する標準化試料交換制御手段と、前記交換された標準化試料の蛍光X線強度の測定結果からドリフト補正係数を算出するドリフト補正係数算出手段とを備えた蛍光X線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/223 ,  G01N 1/00

FI (2件)：

G01N 23/223 ,  G01N 1/00 C

Fターム (23件)：

2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001EA01 ,  2G001EA03 ,  2G001FA06 ,  2G001FA08 ,  2G001FA30 ,  2G001GA01 ,  2G001JA06 ,  2G001JA12 ,  2G001JA17 ,  2G001KA01 ,  2G001NA07 ,  2G001NA11 ,  2G001NA15 ,  2G001NA17 ,  2G001PA02 ,  2G001PA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA13 ,  2G001PA30 ,  2G001QA02

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭62-209345
  
• 蛍光X線分析におけるバイアス修正方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-239025   出願人：理学電機工業株式会社
• 特開平3-094147
  
• 特開昭57-142549