特許

J-GLOBAL ID：200903075849757763

慣性センサおよびその製造方法

発明者： 安川 浩永
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-238627
公開番号（公開出願番号）：特開2008-058259
出願日： 2006年09月04日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：

【課題】外部加速度の影響により角速度センサ出力に誤差を除去するとともに、角速度検出の高感度化を可能とする。【解決手段】電磁駆動方式および静電検出方式を用い、互いに直交する3軸のうち1軸方向の駆動振動で2軸方向の角速度を検出する複数の慣性センサ素子2,3を同一基板(第1基板100)上に形成したもので、前記慣性センサ素子2,3の少なくとも一組の慣性センサ素子2,3は前記第1基板100上で互いに直交する向きに配置されていて、前記複数の慣性センサ素子2,3は、複数の弾性支持体102-1〜6に支持されたもので、互いに逆位相で駆動振動する振動モードを有する2対の振動子(第1振動子101-1、第2振動子101-2)を備えたことを特徴とする慣性センサ1である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電磁駆動方式および静電検出方式を用い、 互いに直交する3軸のうち1軸方向の駆動振動で2軸方向の角速度を検出する複数の慣性センサ素子を同一基板上に形成したもので、 前記慣性センサ素子の少なくとも一組の慣性センサ素子は前記基板上で互いに直交する向きに配置されていて、 前記複数の慣性センサ素子は、複数の弾性支持体に支持されたもので、互いに逆位相で駆動振動する振動モードを有する2対の振動子を備えた ことを特徴とする慣性センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (17件)：

2F105BB02 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 三次元角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-112801   出願人：ミツミ電機株式会社