三次元角速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝比一夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-112801
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295075
出願日： 1998年04月08日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】簡易な構成で3軸回りの角速度を高精度で検出できる三次元角速度センサを提供すること。【解決手段】本発明の三次元角速度センサ1は、基板2上に、第1の素子3と第2の素子5とが設置された構成をなしている。第1の素子3の質量部31は、X方向に加振されている。これにより、Z軸回りの角速度が作用したとき、Y軸方向にコリオリ力による振動が生じ、この振動を検出することによりZ軸回りの角速度を検出することができる。第2の素子5の質量部51は、Z方向に加振されている。これにより、X軸回りの角速度が作用したとき、Y軸方向にコリオリ力による振動が生じ、Y軸回りの角速度が作用したとき、X軸方向にコリオリ力による振動が生じ、これらの振動を検出することにより、それぞれX軸回りおよびY軸回りの角速度を検出することができる。

請求項（抜粋）：

コリオリ力を利用して互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸のそれぞれの軸回りの角速度を検出する三次元角速度センサであって、前記X軸、Y軸およびZ軸のうちのいずれか1つの軸の軸回りの角速度を検出する第1の素子と、前記X軸、Y軸およびZ軸のうちの残りの2つの軸の軸回りの角速度をそれぞれ検出する第2の素子とを備えることを特徴とする三次元角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 3/44 , G01P 9/04

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 3/44 Z , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-322617 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-027294 出願人：株式会社村田製作所
複合センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159047 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社

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