特許

J-GLOBAL ID：200903075865237320

多層膜反射鏡及び露光装置

発明者： 白石 雅之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334048
公開番号（公開出願番号）：特開2007-140147
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】 Si層上に拡散層が形成されることによる反射率の低下を防止する多層膜反射鏡を提供する。【解決手段】 基板表面にMoを主成分とする層6とSiを主成分とする層8を交互に周期的に成膜し、前記Siを主成分とする層8上に拡散防止層10を形成した構造を有するMo/Si多層膜12を備える多層膜反射鏡2であって、前記拡散防止層10は、前記Siを主成分とする層8が有する原子間空隙に入る最大の球の半径の80%以上の共有原子価半径を有する原子により構成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板表面にMoを主成分とする層とSiを主成分とする層を交互に周期的に成膜し、前記Siを主成分とする層上に拡散防止層を形成した構造を有するMo/Si多層膜を備える多層膜反射鏡であって、 前記拡散防止層は、前記Siを主成分とする層が有する原子間空隙に入る最大の球の半径の80%以上の共有原子価半径を有する原子により構成されることを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (4件)：

G02B 5/26 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/28 ,  G21K 1/06

FI (4件)：

G02B5/26 ,  G02B5/08 A ,  G02B5/28 ,  G21K1/06 C

Fターム (16件)：

2H042DA01 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DB02 ,  2H042DC02 ,  2H042DE04 ,  2H042DE07 ,  2H048FA05 ,  2H048FA18 ,  2H048FA22 ,  2H048FA24 ,  2H048GA07 ,  2H048GA18 ,  2H048GA24 ,  2H048GA33 ,  2H048GA61

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 多層膜反射鏡及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-128816   出願人：株式会社ニコン