タッチ信号プローブ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302689
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221806
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】被測定物に対する検出感度が高く低接触力での測定が可能であるとともに、外乱振動によっては誤検出が生ぜず、方向性、速度依存性が少なく且つロングスタイラス化を図ることができるタッチ信号プローブを提供する。【構成】被測定物と接触する接触球14Aを有する振動子14の軸方向の略中心部を係合ピン18を介してスタイラスホルダ12に支持するとともに、振動子14に振動を付加し且つその振動の変化を検出する圧電素子16を振動子14の溝部20に密着した状態で取付け、測定時に振動子14を圧電素子16によって振動させ、この振動の変化を圧電素子16によって検出することにより、被測定物との接触を検出する。

請求項（抜粋）：

スタイラスホルダと、このスタイラスホルダに軸方向の略中央部が支持されているとともに先端に被測定物と接触する接触部を有する振動子と、この振動子のスタイラスホルダに対する支持点を振動の節として振動子を共振させる加振手段と、前記振動子の振動の変化から前記接触部の被測定物に対する接触を検出する検出手段とを含むことを特徴とするタッチ信号プローブ。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭54-031776
特開平4-140601
特開昭48-060653

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