特許
J-GLOBAL ID：200903075944500605
マーク検査方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-192384
公開番号（公開出願番号）：特開平10-040380
出願日： 1996年07月22日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 ICの種類が多くても、また新しいICが開発されたりしてもICパッケージ上のマークを容易かつ正確に認識し、検査時間を短縮する。【解決手段】 ICパッケージ14を撮影するビデオカメラ12と、ICパッケージ上のマーク位置及びマーク範囲をティーチングすると共に当該マーク位置及びマーク範囲に対応する位置及び範囲内のマークの画像パターンを基準マークパターンとしてティーチングし、これらマーク位置及びマーク範囲の情報と基準マークパターンの情報とを用いて検査対象のマークを検査する画像処理ユニット11と、マーク位置及びマーク範囲の情報と基準マークパターンの情報とを記憶する記憶装置18を有する。
請求項（抜粋）：
画像処理を使用してマーク検査を行うマーク検査方法において、マーク位置及びマーク範囲を教示する第1の教示工程と、少なくともマークとその周辺の画像を取り込む画像取り込み工程と、上記マーク位置及びマーク範囲に対応する位置及び範囲内のマークの画像パターンを基準マークパターンとして教示する第2の教示工程と、上記マーク位置及びマーク範囲と上記基準マークパターンとを用いて、検査対象のマークを検査する検査工程とを有することを特徴とするマーク検査方法。
IPC (4件)：
G06T 7/00
, G01N 21/88
, H01L 23/00
, H05K 13/02
G06F 15/62 405 A
, G01N 21/88 E
, H01L 23/00 A
, H05K 13/02 D
, G06F 15/70 455 A
